谷巴全方位突破微球技术，，，，补齐CMP抛光垫产业链拼图

谷巴作为一家在材料领域深耕了二十多年的创新平台型企业，
，，，所做的材料产品有微颗粒表征、、
、微量杂质控制和微米级控制精确度的共同特征，
，在共性中整合了技术，，，打通了产品间的技术逻辑，，
，掌握了最全面的微球技术。
。

其中，，
，谷巴从早期的彩色化学碳粉产品、、磁性载体中掌握了有机聚合物微球以及无机微球两大类的球体技术
，，并延伸到半导体材料领域，
，助力谷巴研发了抛光液用纳米研磨粒子及抛光垫关键原材料CMP抛光垫用可膨胀空心微球。。
。

图丨谷巴微米级核壳结构实心微球形貌

谷巴磁性载体是微米级核壳结构实心微球，，，
，谷巴依托无机陶瓷材料及高分子合成技术平台，，实现了硅树脂合成、、、载体包覆以及载体芯材合成。。

图丨谷巴纳米级实心无机微球形貌

抛光液用纳米研磨粒子是一种纳米级实心微球。。。结合化学彩色碳粉中的粒径调控、、、、形状控制以及正负电胶体稳定性控制等技术，，实现了这种纳米级实心球体定制化，，，能够根据客户需要调节形貌、、、电势、、
、粒径等特性。。。

图丨谷巴微米级有机聚合物微球形貌

谷巴的彩色化学碳粉和CMP用可膨胀空心微球是一种核壳结构的有机聚合物微球
。。。。依托物理化学及高分子合成技术平台，，运用自由基悬浮聚合
、、聚酯合成、、
、有机无机杂化等关键技术实现了聚烯烃树脂、、、、聚酯树脂
、、、苯丙树脂等关键原材料的合成。。。

其中
，，
，，CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品，
，全球一直被美资企业独家供应。。。2021年，
，，这家独供企业宣布停产，，
，一纸告知函引发了全球CMP抛光垫厂商的震荡
。。。。也是在同年
，，，，谷巴CMP单月销量破万，，，
，抛光垫武汉二厂也在同年投产
，
，，从市场占有率和产能建设上都坐实了国内CMP抛光垫龙头企业的身份。。为了保障CMP抛光垫供应链的安全，，谷巴启动了微球自主化项目。。。。

标准尺寸微球

Pad剖面图

CMP抛光垫用微球也被称为热膨胀聚合物微球，，，是以气密性单体形成的聚合物为壳层、、发泡剂为内核形成的聚合物粒子
，，
，
，在温度高于发泡剂沸点和聚合物软化温度时可高度膨胀。。。
。要先将单体和发泡剂通过悬浮聚合的方式合成未发泡的微球，
，再经过合适的发泡温程实现理想的放大倍率
。
。。这种微球在抛光垫成品中的用量不到5%，，，，但在整块抛光垫中占有30%以上的体积
。。。在微观层面上形成孔隙
，，，，承载抛光液，
，提供化学腐蚀所需的微反应场所
，，对抛光垫去除速率、、
、抛光缺陷以及平坦化效率等指标都有着至关重要的作用。。

发泡前

发泡后

2023年，，谷巴结合物理化学及高分子合成等多项平台技术
，
，，攻克了微球开发配方复杂、
、、单体种类繁多、、组成多变
、、粒径大小及均一性难控制
、、表面形貌要求高、
、、、发泡易粘黏等一系列难点以及微球发泡工艺不稳定等问题
，，，开发出属于谷巴公司的空心微球系列产品，
，
，性能指标与原厂媲美。。。

CMP抛光垫是谷巴向半导体材料行业转型的第一款产品，，，，也是谷巴理解最深刻的一款半导体材料产品。。
。在研发布局时就同步实现了预聚体
、、缓冲垫等关键原材料的自研自产
，，，其他材料上也培养了国产供应商。。2023年，，谷巴自研的CMP抛光垫用微球实现量产
，，，，补齐了国产CMP抛光垫产品最后一块供应链拼图。。同时，，，，谷巴还启动了1000L微球产能升级项目，，，，预计今年第二季度投产，，，，这部分产能可覆盖中国CMP抛光垫市场的全部需求。。。。

谷巴在“卡脖子”材料领域深耕了二十多年，，对“国产化”有深刻理解，，，对供应链安全有敏锐的察觉。。
。。在关键时刻向行业展现“谷巴格局”，
，，运用成熟的微球技术为行业解决更多问题，
，，用开放的心态助力行业发展
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